●MIRAO 52 D 新タイプデフォーマブルミラー 電磁駆動方式のため低電圧です。 ■面精度 (アクティブ制御) ：5nm ■最大補正量（チルト） ：100μm ■アクチュエーター数 ：52

口　径 13.5-15mm 　リニアリティー ＞95％ 　ヒステリシス ＜1％ 　電　圧 ±1 V max.

コーティング アルミ、銀、誘電体（オプション） 　駆動周波数 250 Hz max. 　消費電力 50 Watts max. 　寸法／重量 70×66×35mm³／530g

ホームヘ

Copyright 2002 Hikari, Inc. All rights reserved.